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体系压强为300Pa添加时间:2019-04-01

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  纯度99.8%,厚度25μm),将铜箔置于带有磁力控制装置的套管中,再将套管置于管式炉中,在流量为300sccm的氢气气氛下,体系压强为300Pa,将炉体温度升至1000℃,保持50min;